| 发明名称 | 正型抗蚀剂组合物 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种能够形成具有出色形状的抗蚀图形的正型抗蚀剂组合物。该组成物是把基础树脂成分(A)和因曝光而产生酸的产酸剂成分(B)溶解到有机溶剂而成的正型抗蚀剂组合物，所述基础树脂成分(A)是硅酮树脂，所述有机溶剂含有丙二醇单甲基醚(x1)和沸点高于该丙二醇单甲基醚的溶剂(S2)。 | ||
| 申请公布号 | CN100454143C | 申请公布日期 | 2009.01.21 |
| 申请号 | CN200510062425.6 | 申请日期 | 2005.03.28 |
| 申请人 | 东京应化工业株式会社 | 发明人 | 川名大助;山田知孝;细野隆之;田村弘毅 |
| 分类号 | G03F7/075(2006.01);G03F7/004(2006.01) | 主分类号 | G03F7/075(2006.01) |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 朱丹 |
| 主权项 | 1.一种正型抗蚀剂组合物，是把基础树脂成分(A)和因曝光而产生酸的产酸剂成分(B)溶解到有机溶剂而成的正型抗蚀剂组合物，其特征在于，所述基础树脂成分(A)是硅酮树脂，所述有机溶剂含有丙二醇单甲基醚和沸点高于该丙二醇单甲基醚的溶剂(S2)，在所述有机溶剂中，所述丙二醇单甲基醚的含有比例是10～60质量％。 | ||
| 地址 | 日本神奈川县 | ||