静电电容式液体传感器

摘要

本发明涉及一种静电电容式液体传感器，其利用液体表面始终维持水平面这一事实来检测物体的倾斜角及加速度。其中，电绝缘体制的筒状密闭容器(6)具有平行的两个侧面(2、3)，在该两个侧面上设置开口(13、14)，至少在板状主电极(4、5)的单面上形成有硅氧化覆盖膜，将氧化覆盖膜设为容器的内侧使上述板状主电极抵接于上述侧面以将该开口阻塞。密封剂(28)液密地介在于板状主电极和侧面的间隙，在容器中密封入内容积的大致1/2量的导电性液体(27)。将与该导电性液体电接触的副电极(8)设置在容器内。

主权项

1.一种液体传感器，在容器内充满导电性液体，使表面形成有电介质覆盖膜的电极的一部分与该导电性液体相接触，根据上述电极与上述导电性液体之间的静电电容的变化来测定伴随着上述导电性液体的液面的移动的、该电极和上述导电性液体的接触面积的变化，根据该测定值的变化检测出上述电极相对于上述导电性液体的液面的倾斜角的变化或施加于上述容器的加速度，其特征在于，使用硅氧化覆盖膜作为上述电介质覆盖膜。