固态成像装置、其制造和驱动方法和照相机

摘要

本发明公开了一种固态成像装置，其能够减少在光接收部分的周边部分的入射光的光蚀(阻挡)且实现更大视角和高速驱动。采用了由一层多晶硅层形成第一传输电极和第二传输电极的单层传输电极结构。两个在水平方向延伸的分路导线形成于在水平方向上连接的第一传输电极上，且例如四相传输脉冲通过在水平方向延伸的低电阻分路导线供给到在传输沟道上的第一电极和第二电极。

主权项

1.一种固态成像装置，包括：多个光接收部分，沿第一方向和垂直于所述第一方向的第二方向设置；多个传输沟道，沿所述第二方向延伸，每个设置于相邻的所述光接收部分之间；多个传输电极，包括：多个第一传输电极，设置于所述传输沟道上，相邻的所述第一传输电极设置于所述光接收部分的两侧，并在所述第一方向上相连接；和多个第二传输电极，设置于与所述第一传输电极相同的层中，并在所述传输沟道上；和多个低电阻导线，所述低电阻导线的数目相应于所述传输电极的数目，所述低电阻导线在所述第一方向上于所述第一传输电极上方延伸，且具有比所述传输电极的电阻小的电阻，所述多个低电阻导线在各所述传输沟道上通过连接部分分别连接到所述多个传输电极。