发明名称 |
电流可抹除可程式只读记忆体元件及其制造方法 |
摘要 |
本发明是有关于一种电流可抹除可程式只读记忆体元件及其制造方法。该电流可抹除可程式只读记忆体的元件,至少包含一浮动闸极电极,该浮动闸极包含一外部边缘部分。其中,该外部边缘部分包含复数电荷转换点的尖锐尖端。该电流可抹除可程式只读记忆体的元件的形成方法,至少包括下列步骤:形成一浮动闸极电极,其中该浮动闸极电极包含一外部边缘部分,该外部边缘部分包含复数电荷转换点的尖锐尖端。本发明可以改善元件的功能、可靠度以及配合记忆体尺寸的缩小所需的制程空间,非常适于实用。 |
申请公布号 |
CN100454551C |
申请公布日期 |
2009.01.21 |
申请号 |
CN200610007677.3 |
申请日期 |
2006.02.17 |
申请人 |
台湾积体电路制造股份有限公司 |
发明人 |
刘源鸿;傅士奇;罗际兴;蔡嘉雄 |
分类号 |
H01L27/115(2006.01);H01L29/788(2006.01);H01L29/423(2006.01);H01L21/8247(2006.01);H01L21/336(2006.01);H01L21/28(2006.01) |
主分类号 |
H01L27/115(2006.01) |
代理机构 |
北京中原华和知识产权代理有限责任公司 |
代理人 |
寿宁;张华辉 |
主权项 |
1、一种电流可抹除可程式只读记忆体元件,其特征在于其至少包含:一浮动闸极电极,包含一外部边缘部分具有复数电荷转换点的尖锐尖端,该些电荷转换点的尖锐尖端沿著该浮动闸极电极的延伸方向依次排列,使该浮动闸极电极的外部边缘在相对应该浮动闸极电极的水平方向上具有相邻的复数尖起区域与复数山谷区域。 |
地址 |
台湾省新竹科学工业园区新竹市力行六路8号 |