发明名称 | 炉管保养测试程式控制系统及控制方法 | ||
摘要 | 本发明提供的炉管保养测试程式控制系统及控制方法中,当侦测单元侦测炉管进入保养测试程式后,由锁定单元将炉管包含的所有配方全部锁定,然后由炉管保养测试程式根据测试人员的选择的配方组进行相应的测试,当测试完成后由激活单元将经过测试的配方组中的配方予以激活,而对未进行测试的配方组中的配方不予激活,由此可有效避免未经过测试的配方组被工作人员错误使用,相较于现有技术,本发明可有效控制炉管保养后配方的正确使用,提高测试效率,防止误操作。 | ||
申请公布号 | CN101349918A | 申请公布日期 | 2009.01.21 |
申请号 | CN200710043868.X | 申请日期 | 2007.07.17 |
申请人 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 发明人 | 申谦;王静 |
分类号 | G05B23/02(2006.01) | 主分类号 | G05B23/02(2006.01) |
代理机构 | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人 | 王洁 |
主权项 | 1、一种炉管保养测试程式控制系统,其特征在于,包括:侦测单元,用于侦测炉管是否进入保养状态;锁定单元,用于当所述炉管进入保养状态时锁定所述炉管包含的所有配方;以及激活单元,用于当炉管保养测试程式根据测试人员选择的要进行测试的配方组进行相应的测试后激活已进行过测试的相应配方组包含的各配方而使未进行测试的配方组包含的各配方处于未被激活的状态。 | ||
地址 | 201203上海市张江路18号 |