发明名称
摘要
申请公布号 JP4213298(B2) 申请公布日期 2009.01.21
申请号 JP19990176587 申请日期 1999.06.23
申请人 发明人
分类号 H01L21/331;H01L29/73;H01L21/316;H01L29/732 主分类号 H01L21/331
代理机构 代理人
主权项
地址