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发明名称 METHOD FOR PRODUCING METAL/SEMICONDUCTOR CONTACTS THROUGH A DIELECTRIC
摘要
申请公布号 EP1846956(B1) 申请公布日期 2009.01.21
申请号 EP20060709480 申请日期 2006.02.06
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 发明人 RIBEYRON, PIERRE JEAN;ROLLAND, EMMANUEL
分类号 H01L31/0224;H01L21/28;H01L27/142;H01L31/18 主分类号 H01L31/0224
代理机构 代理人
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