发明名称 |
Manufacturing method of optical member from silica or glass |
摘要 |
<p>L'invention concerne un procédé de fabrication d'élément optique en silice, caractérisé en ce qu'il comprend au moins une étape de dépôt de silice sur au moins une face de l'élément optique par l'excitation d'un gaz entre deux électrodes (E1,E2) et injection d'un gaz précurseur dans une zone de post-décharge (3) puis sur le substrat (S) à l'aide d'un capillaire (C).</p><p>L'invention s'applique plus particulièrement à la fabrication de lames de phase.
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申请公布号 |
EP2009136(A3) |
申请公布日期 |
2009.01.21 |
申请号 |
EP20080156862 |
申请日期 |
2008.05.23 |
申请人 |
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE - CEA |
发明人 |
RAVEL, GUILLAUME |
分类号 |
C23C16/40;C03C17/245;C23C16/04;C23C16/452 |
主分类号 |
C23C16/40 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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