METHOD OF FABRICATING SEMICONDUCTOR DEVICE,申请号EP20020730853-传众专利搜索

发明名称	METHOD OF FABRICATING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号	EP1394844(B1)	申请公布日期	2009.01.21
申请号	EP20020730853	申请日期	2002.05.31
申请人	TOKYO ELECTRON LIMITED	发明人	YOKOYAMA, SHIN;NAKAJIMA, ANRI;TADA, YOSHIHIDE;NAKAMURA, GENJI;IMAI, MASAYUKI;YONEKAWA, TSUKASA
分类号	H01L21/318;C23C16/30;C23C16/34;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/56;H01L21/314;H01L21/316;H01L21/321;H01L21/8242;H01L27/108;H01L29/78	主分类号	H01L21/318
代理机构		代理人
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