| 发明名称 | 基板交接装置、基板处理装置、基板交接方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种基板交接装置、基板处理装置、基板交接方法。不使用搬运臂、而仅用基板交接装置来校正基板的水平方向位置偏移。该基板交接装置具有：多个支承销(132A～132C)，它们绕载置台(112)的支承轴(114)分离开地配置，在基板下表面支承基板例如晶圆(W)；基台(134)，其安装有支承销；上下驱动部件(Z方向驱动部件138Z)，其借助基台上下驱动支承销，从而使晶圆W进行升降；水平方向驱动部件(X方向驱动部件138X、Y方向驱动部件138Y)，它们借助基台水平驱动支承销，以调整晶圆的水平方向(X、Y方向)位置的。 | ||
| 申请公布号 | CN101351878A | 申请公布日期 | 2009.01.21 |
| 申请号 | CN200780001097.6 | 申请日期 | 2007.08.20 |
| 申请人 | 东京毅力科创株式会社 | 发明人 | 广木勤 |
| 分类号 | H01L21/68(2006.01);H01L21/3065(2006.01);H01L21/205(2006.01);H01L21/677(2006.01) | 主分类号 | H01L21/68(2006.01) |
| 代理机构 | 北京林达刘知识产权代理事务所 | 代理人 | 刘新宇;张会华 |
| 主权项 | 1.一种基板交接装置，该装置用于在搬运基板的搬运臂与载置上述基板的载置台之间进行基板交接，其特征在于，该基板交接装置具有：多个支承销，它们绕上述载置台的支承轴分离开地配置，在上述基板下表面支承上述基板；基台，该基台上安装有上述支承销；上下驱动部件，该上下驱动部件借助上述基台上下驱动上述支承销，从而使上述基板进行升降；水平驱动部件，该水平驱动部件借助上述基台水平驱动上述支承销，以调整上述基板的水平方向位置。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||