电磁辐射检测器及用于制造这种检测器的方法

摘要

提供了电磁辐射检测器及用于制造这种检测器的方法。该电磁辐射检测器包括反射基片(10，12，14)和至少一个检测元件，该至少一个检测元件包括对所述辐射敏感并悬置于基片(10，12，14)以上的膜(16，18，20)。膜和至少一个检测元件与基片之间的距离是可变的，所述距离具有预定的空间分布，该空间分布适于使辐射检测器在至少一个预定波长范围内的响应的快速变化最小。

主权项

1.一种电磁辐射检测器，包括：反射基片(10，12，14)和至少一个检测元件，该至少一个检测元件包括对所述辐射敏感并悬置于所述基片(10，12，14)以上的膜(16，18，20)，所述电磁辐射检测器特征在于所述膜和所述至少一个检测元件与所述基片之间的距离是可变的，所述距离具有预定的空间分布，该空间分布适于使所述检测器对至少一个预定波长范围内的辐射的响应的快速变化最小。