一种微谐振腔光传感器

摘要

本实用新型公开的微谐振腔光传感器，包括输入波导、微谐振腔、输出波导和光功率衰减器，输入波导和输出波导分别与微谐振腔耦合，置于微谐振腔的两侧，输入波导的一端为整个光传感器的光源接入端，输入波导的另一端与光功率衰减器的输入端相连，光功率衰减器的输出端与输出波导的一端相连，输出波导的另一端为传感信号出射端。该微谐振腔光传感器结构简单，设计方便，仅需标准工艺制作。采用微谐振腔设计，可以实现非常尖锐的频谱响应，从而实现高精度、高灵敏度测试。

主权项

1、一种微谐振腔光传感器，其特征在于包括输入波导(1)、微谐振腔(2)、输出波导(3)和光功率衰减器(4)，输入波导(1)和输出波导(3)分别与微谐振腔(2)耦合，置于微谐振腔(2)的两侧，输入波导(1)的一端为整个光传感器的光源接入端，输入波导(1)的另一端与光功率衰减器(4)的输入端相连，光功率衰减器(4)的输出端与输出波导(3)的一端相连，输出波导(3)的另一端为传感信号出射端。