压电致动器及其制作方法

摘要

一种压电致动器的制作方法，包括下列步骤：形成一压电块材，其中该压电块材包括第一表面与第二表面；将该压电块材之第一表面固定于第一基材上；利用一研磨治具研磨该第二表面而薄化该压电块材；将该经薄化之压电块材由该研磨治具取下；以及将该经薄化之压电块材转置至第二基材上。