切断方法及钢线锯装置

摘要

本发明系一种切断方法，系将钢线卷绕于复数个附凹沟滚筒，一边供给切断用浆液至该附凹沟滚筒，一边使上述钢线行进地压抵晶棒，将其切断成晶圆状之方法，其特征为：切断上述晶棒时，测定于轴方向变化的晶棒的位移量，对应该测定的晶棒的轴方向的位移量，控制上述附凹沟滚筒的轴方向的位移量，藉此，一边控制相对于在上述轴方向变化的晶棒的全长之上述钢线的相对位置，一边切断晶棒。藉此，提供一种切断方法与线锯装置，控制晶棒的切断轨迹，可降低例如被切断后的晶圆的弯曲度和翘曲度等，特别是可平坦地切断。