藉由具内部冷却的矽金属及氯之反应以制备四氯化矽的方法

摘要

一种藉矽金属(Si)和氯(Cl#sB!2#eB!)在反应器中之反应以制备四氯化矽(SiCl#sB!4#eB!)之方法。反应的温度和速率藉由将氯和冷却介质同时直接注入反应器的反应区中而控制，其中将冷却介质以液体形式于低于反应器温度的温度下引入并在反应器内蒸发，利用其蒸发热和比热含量于冷却。此冷却介质较佳系四氯化矽或惰性气体。