| 摘要 |
本发明系一种导电体之制造方法，其课题为提供对于导电性优良之同时，可生产性良好地制作透明性良好之氧化钛系导电体之方法，而解决手段为具有：于基体上，形成第1之前驱体层与第2之前驱体层以任意之顺序加以层积而成之前驱体层积物的层积物形成工程，和将前述前驱体层积物，经由在还原环境下加热，退火，由前述第1之前驱体层与前述第2之前驱体层，形成金属氧化物层之退火工程；前述第1之前驱体层乃包含Nb之氧化钛所成，于进行单层退火试验时，包含多结晶且该多结晶为不含金红石型结晶之氧化钛层，于进行单层退火试验时，包含多结晶且多结晶为含金红石型结晶之非晶质氧化钛层。 |
