用以在真空腔室中移动承载器的设备配置

摘要

本发明有关于一种用以在真空室内移动承载器的配置方式。此承载器塑造成平板造型，并且其窄侧下缘位在多个滚轮上，该些滚轮藉由一驱动系统加以驱动。驱动系统较佳使用一磁性耦合件，该磁性耦合件一部分设置在真空室内且一部分设置在真空室外。为了使力量作用于垂直方向上，该磁性耦合件的两部件可彼此相错开来。此外，承载器亦可水平移动。