平坦表面空气轴承组件

摘要

空气轴承组件包含:上侧部份,其具有多个供应空气及真空洞孔经由其中;下侧部份;以及多个分隔器放置于上侧以及下侧部份之间以及保持上侧以及下侧部份为分隔之关系,其中供应空气及真空洞孔之密度相当高足以提供基板之空气轴承,但是不能太高使得至少为下列一项情况:(i)采用充份数目之分隔器;以及(ii)分隔器位于相当靠近以保持上侧部份相对于下侧部份为相当均匀平坦性。