高温细晶铝加热器

摘要

本发明提供一种适合在高温基板处理系统中使用的加热铝基板支撑件及其制造方法。在一个实施方式中，加热铝基板支撑件可以包括：铝主体；连接至主体的柄轴；以及设置在主体内的加热元件。主体具有小于约250μm的平均颗粒尺寸。在一些实施方式中，柄轴至主体的接合系为完全穿透之叠接焊接部(lap weld)，此提高了基板支撑件的使用寿命。