处理基板的技术

摘要

揭露处理基板的技术。在一个特定例示性实施例中，所述技术可实现为基板支撑件。基板支撑件可包括安装部分。基板支撑件亦可包括自安装部分延伸的壁，其中壁可形成大体上封闭的区域，且可在末端具有接触表面。