用以在面对晶圆的电极上感应产生直流电压的方法及设备

摘要

揭示一种基板处理之方法。此方法包含支撑基板于设置有第一电极及第二电极的电浆处理腔室中。此方法亦包含耦合被动射频（RF）电路至第二电极，被动RF电路系用以调整RF阻抗、RF电压电位、及第二电极上的DC偏压电位其中之一或更多者。