凹部形成方法、凹部形成装置及凹部形成用材料

摘要

在本发明中，一薄片设置于作为形成凹部之目标的材料中，此薄片具有与材料之物理特性不同之第一物理特性、且具有与欲形成之凹部之平面形状相同之平面形状。然后，利用切割工具，以从材料之第一表面开始的深度方向切割材料。此时，利用侦测器侦测切割部分的最深部分的物理特性，当特性等于第一物理特性时，终止深度方向的切割。亦在实质上平行于第一表面之水平方向切割此材料，以形成沟槽，藉此把第一表面分割成具有与平面形状相同形状之第一区、及作为其他区的第二区。最后，剥除第一区中之薄片及第一表面之间的材料。