在透明基板中计量缺陷之方法

摘要

本发明说明用来侦测和量化透明基板内尤其是玻璃片内缺陷的方法。此方法包括提供有顶面和底面的透明平面基板。量测所提供透明平面基板至少一部分顶面的表面高度分布以取得有次奈米精确水准的3度空间表面外形。从3度空间表面外形的量测就可以辨认出和/或量化3度空间表面外形中出现一个或多个表面变化大于预定容限的高度。