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Una solución limpiadora acuosa de semiconductores, comprendiendo: al menos, alrededor del 75% en peso de agua; desde alrededor del 0,5% hasta alrededor del 10% en peso de ácido fosfórico al 85% en agua; al menos, un compuesto alcalino seleccionado de entre: un hidróxido de amonio cuaternario, un derivado de la hidroxilamina poseyendo la fórmula estructural: (Ver fórmula) en donde R3 es hidrógeno o un hidrocarburo lineal, ramificado o cíclico, conteniendo de 1 a 7 átomos de carbono, y en donde X e Y son, independientemente, hidrógeno o un hidrocarburo lineal, ramificado o cíclico conteniendo de 1 a 7 átomos de carbono, o en donde X e Y se encuentran ligados entre sí y forman un anillo heterocíclico C4-C7 conteniendo nitrógeno, y una mezcla de los mismos; y opcionalmente, uno o más compuestos ácidos distintos, uno o más compuestos conteniendo fluoruro, y/o una o más alcanolaminas poseyendo la fórmula estructural: (Ver fórmula) en donde R1, R1'''', R2, R2'''' y R3 son, independientemente en cada caso, hidrógeno o un hidrocarburo lineal, ramificado o cíclico conteniendo de 1 a 7 átomos de carbono; en donde Z es un grupo que posee la fórmula -(-Q-CR1R1''''-CR2 R2''''-)m-, de tal forma que m es un número entero de 0 a 3 (i.e., cuando m=0, no existe ningún átomo entre el grupo -CR2R2''''- y el grupo -OR3 en la fórmula anterior), R1, R1'''', R2 y R2'''' pueden ser independientemente definidos en cada unidad de repetición, si m>1, dentro de los parámetros establecidos más arriba para estos restos, y Q puede ser definida independientemente en cada unidad de repetición, si m>1, siendo cada Q independientemente bien -O- o -NR3-; y en donde X e Y son, independientemente en cada caso, hidrógeno, un hidrocarburo C1-C7 lineal, ramificado o cíclico, o un grupo poseyendo la fórmula -CR1R1''''-CR2R2''''-Z-F, siendo F bien -O-R3 o -NR3R4, donde R4 es definido de forma similar a R1, R1'''', R2, R2''''''''y R3 más arriba, y con Z, R,,R1'''', R2, R2'''' y R3 definidos conforme más arriba, o en donde X e Y se encuentran ligados entre sí para formar un anillo C4-C7 heterocíclico conteniendo nitrógeno, en donde el pH de la solución se encuentra desde alrededor de 1.5 a alrededor de 6.
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