| 摘要 |
在表面电压计(1)中，在表面形成有绝缘膜之半导体基板之基板(9)上，对测定区域进行光之照射和对测定区域之表面电位进行测定。利用此种方式，在测定区域产生过剩之电子－电洞对偶，使绝缘膜表面之带电电荷在基板(9)之基板本体感应起之电洞或电子所产生之电位互相抵销。其结果是可以以高精确度测定由于在基板(9)之绝缘膜表面之带电之电荷所产生之测定区域之表面电位。另外，被利用对电极(12)施加电极电位之电极布线(164)，从电极(12)朝向基板(9)和基板保持部(11)之相反侧，而沿着振动方向配置，在电极(12)之振动，可以用来防止由于电极布线(164)之振动所产生之杂讯等之影响，因此可以以更高之精确度对测定区域之表面电位进行测定。 |
