| 摘要 |
本发明揭示一种正型光阻组成物，其包括：（B1）一种在酸之作用下可分解而增加树脂（B1）在硷性水溶液中溶解度之树脂，树脂（B1）含说明书中定义之指定羟基苯乙烯为主重复单元及/或（甲基）丙烯酸为主重复单元；（B2）一种在酸之作用下可分解而增加树脂（B2）在硷性水溶液中溶解度之树脂，树脂（B2）含说明书中定义之指定羟基苯乙烯为主重复单元及/或（甲基）丙烯酸为主重复单元，而且含说明书中定义之指定含芳环结构重复单元；及（A）一种在以光化射线或辐射照射时可产生酸之化合物，及一种使用此组成物之图案形成方法。 |
