涂布装置

摘要

本发明系提供一种可省略制造及安装的功夫，又可免于喷嘴与基板之间间隔的模糊，不需要调整轨道之涂布装置。涂布装置，包含有：上面具有设置于部之基板保持领域、及设置于由前述基板保持领域之宽度方向外侧到侧缘之位置之平滑领域之基板保持台、及具有并列配置于基板保持台之宽度方向且用以保持喷嘴之一对保持构件之滑动部。保持构件分别于其下端之前述基板保持台侧缘外侧位置形成朝前述基板保持台之侧面方向延伸之卡合部，前述下端之前述基板保持台侧缘内侧载置于前述平滑领域并且前述卡合部沿着侧面配置，藉此可防止滑动部往前述基板保持台之宽度方向偏离。