| 摘要 |
一近接头包含一头部表面。该头部表面包含一第一平坦区域及复数之第一导管。每一该复数之第一导管由相对应的复数之第一分离孔的其中一个所界定。该复数之第一分离孔存在于该头部表面中且延伸穿过该第一平坦区域。该头部表面亦包含一第二平坦区域及复数之第二导管。该复数之第二导管由相对应的复数之第二分离孔所界定，该第二分离孔存在于该头部表面中且延伸穿过该第二平坦区域。该头部表面亦包含一第三平坦区域及复数之第三导管，该第三平坦区域被设置于该第一平坦区域与该第二平坦区域之间并邻近于该二者。该复数之第三导管由相对应的复数之第三分离孔所界定，该第三分离孔存在于该头部表面中且延伸穿过该第三平坦区域。该第三导管以相对于该第三平坦区域之一第一角度而形成，该第一角度介于30与60度之间。亦说明利用近接头来处理基板的系统及方法。 |
