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发明名称
正型感光性树脂组成物及使用它之硬化薄膜形成法
摘要
本发明揭示一种正型感光性组成物,包括:(A)一种含具有说明书中定义之指定缩醛结构的酸可解离基之树脂,其为硷不溶性或硷难溶性且在酸可解离基解离时变成硷溶性;(B)一种在以光化射线或辐线照射时可产生酸之化合物;(C)一种交联剂;及(D)一种黏附助剂,及一种使用它之硬化薄膜形成法。
申请公布号
TW200903167
申请公布日期
2009.01.16
申请号
TW097110665
申请日期
2008.03.26
申请人
富士软片股份有限公司
发明人
泷田敏
分类号
G03F7/039(2006.01);H01L21/027(2006.01)
主分类号
G03F7/039(2006.01)
代理机构
代理人
何金涂;何秋远
主权项
地址
日本
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