发明名称 正型感光性树脂组成物及使用它之硬化薄膜形成法
摘要 本发明揭示一种正型感光性组成物,包括:(A)一种含具有说明书中定义之指定缩醛结构的酸可解离基之树脂,其为硷不溶性或硷难溶性且在酸可解离基解离时变成硷溶性;(B)一种在以光化射线或辐线照射时可产生酸之化合物;(C)一种交联剂;及(D)一种黏附助剂,及一种使用它之硬化薄膜形成法。
申请公布号 TW200903167 申请公布日期 2009.01.16
申请号 TW097110665 申请日期 2008.03.26
申请人 富士软片股份有限公司 发明人 泷田敏
分类号 G03F7/039(2006.01);H01L21/027(2006.01) 主分类号 G03F7/039(2006.01)
代理机构 代理人 何金涂;何秋远
主权项
地址 日本