研磨装置

摘要

本发明提供一种研磨装置，系具备：工作台20，用以保持基板；工作台旋转机构40，用以使前述工作台旋转；研磨头42，用以研磨保持于工作台之基板的周缘部；控制部70，用以控制工作台20、工作台旋转机构40及研磨头42之动作；影像取得部61，透过与基板之周缘部相对向而配置的至少1个末端摄像部60以取得该基板之周缘部的影像；影像处理部62，用以处理来自画像取得部之影像；及液体喷射部51，朝基板之周缘部喷射具有光穿透性之液体，并以液体充满在基板之周缘部与末端摄像部之间。