| 摘要 |
本发明系关于，在从物体面O至像面I的光路上依序配置第一凹反射面M1、凸反射面M2以及第二凹反射面M3且在轴外具有有限范围的环带状良好成像区之投影光学系统。投影光学系统，是在物体面O和第一凹反射面M1之间、第一凹反射面M1和凸反射面M2之间、凸反射面M2和第二凹反射面M3之间、以及第二凹反射面M3和像面I之间，分别配置具有光焦度之折射光学元件L1~4。设投影光学系统所含之反射光学元件M1~3的光焦度总和为#P 097116652P01.bmp1、折射光学元件L1~4的光焦度总和为#P 097116652P02.bmp2时，#P 097116652P03.bmp1及#P 097116652P04.bmp2符合0.001≦|#P 097116652P05.bmp2/#P 097116652P06.bmp1|≦0.1。 |
