| 发明名称 | ＳｒＴｉＯ膜之成膜方法及记忆媒体 | ||
| 摘要 | 于处理容器内配置基板，将基板加热，并将Sr原料与Ti原料与氧化剂以气体状导入前述处理容器内，于已加热之基板上令此些气体反应，于基板上成膜出SrTiO#sB!3#eB!膜时，使用Sr胺化合物或Sr亚胺化合物作为Sr原料。 | ||
| 申请公布号 | TW200902747 | 申请公布日期 | 2009.01.16 |
| 申请号 | TW097107341 | 申请日期 | 2008.03.03 |
| 申请人 | 东京威力科创股份有限公司 | 发明人 | 柿本明修;河野有美子 |
| 分类号 | C23C16/40(2006.01);H01L21/316(2006.01);C23C16/455(2006.01) | 主分类号 | C23C16/40(2006.01) |
| 代理机构 | 代理人 | 林志刚 | |
| 主权项 | |||
| 地址 | 日本 | ||