半导体基板用贮藏库

摘要

本发明可抑制设备之规模，并均匀地将气流引导至载置基板等之棚架间。贮藏库100内之空间被侧板104、105、顶板103及地板202所划定。在贮藏库100内，设置有具有载置基板容器120之复数棚架111之棚架装置110。在侧板104，以与棚架装置110相对向之方式固定有送风装置102。在侧板104与棚架装置110之间并未配置妨碍气流之构件等，可确保送风装置102至由棚架111彼此所夹之空间之开口110a沿着直线路径之气体流路。