显影液及细微加工体之制造方法

摘要

本发明之显影液包含：硷性水溶液，矽酸离子、碳酸离子、硼酸离子及磷酸离子之至少一种阴离子，以及铵离子、有机铵离子及硷金属离子之至少一种阳离子。硷性水溶液系氢氧化四烷基铵水溶液。