平板、具有该平板之基底之温度调控装置、以及制造具有该平板之基底之装置

摘要

一种用以调整基板温度之平板。平板具有支撑基板之主体，且平板之主体内配置有第一通道及第二通道。第一通道具有第一入口及第一出口，使得第一流体得以通过第一通道而调整基板之温度。第二通道具有第二入口及第二出口。第二入口邻近于第一出口，且第二出口邻近于第一入口。第二流体系通过第二通道以调整基板之温度。此外，第一通道及第二通道系紧密相连地配置，使得基板之温度可整体性且均匀地被调整。