| 摘要 |
本揭示案系关于具有复数个三维研磨复合物之固定研磨物件，该等复合物包括分散于一基质材料中之研磨粒子，该基质材料包括一聚合黏合剂及具有不大于1000奈米(nm)之体积平均直径之复数个奈米粒状无机填充物粒子。在一些实施例中，该等研磨粒子之体积平均直径小于500 nm，且该等无机填充物粒子之体积平均直径不大于200 nm。在使用非二氧化铈研磨粒子之其他实施例中，以体积计之基质材料之量与非二氧化铈研磨粒子之量的比为至少2。在使用非二氧化铈研磨粒子之替代实施例中，以体积计之非二氧化铈研磨粒子之量与无机填充物粒子之量的比不大于3。亦提供制造及使用根据本揭示案之固定研磨物件之方法。 |
