用于半导体应用之分离轴台设计

摘要

一基台总成(8)包括一具有至少一个自由度，即至少一长冲程之运动能力，且可活动地安装于一第一基台底座框架(12)之第一基台(10)，该第一基台底座框架允许一第一方向的运动。一第二基台(20)具有至少一个自由度，即至少一长冲程之运动能力，且可活动地安置于一第二基台底座框架(22)。该第二基台底座框架允许与该第一方向不同之第二方向上的运动。该第一、第二基台在与该第一、第二方向及一运动正交之第三方向上相互重叠。设置有一独立参考计量框架(18)，以在一个或多个自由度上为该第一、第二基台提供一参考点。其他自由度可由一个基台相对于其他基台而更直接地测得。