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发明名称
可用于光电厂之批次设备机器人和阵列对阵列式传送工件的方法
摘要
本发明大致包含可用于自动化高体积批次工件制造厂的设备,包含工件操作以及在每小时可生产1,000或更多工件之高产能工厂架构中进行工件处理。该些工件可以堆叠供给至平行供给形式提供给该设备使用。此外,该些工件可以阵列至阵列的批次传送方式在制造架构间进行传送。该些工件可以平行至平行的批次传送方式在制造架构间进行传送。机器化运作可在机器臂装置、机器臂装置与处理设备和处理设备之间进行。
申请公布号
TW200903828
申请公布日期
2009.01.16
申请号
TW097117267
申请日期
2008.05.09
申请人
应用材料股份有限公司
发明人
贝许雷许罗伯特Z;汤普曼艾薇;波亚克亚历山大S
分类号
H01L31/18(2006.01)
主分类号
H01L31/18(2006.01)
代理机构
代理人
蔡坤财;李世章
主权项
地址
美国
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