发明名称 可用于光电厂之批次设备机器人和阵列对阵列式传送工件的方法
摘要 本发明大致包含可用于自动化高体积批次工件制造厂的设备,包含工件操作以及在每小时可生产1,000或更多工件之高产能工厂架构中进行工件处理。该些工件可以堆叠供给至平行供给形式提供给该设备使用。此外,该些工件可以阵列至阵列的批次传送方式在制造架构间进行传送。该些工件可以平行至平行的批次传送方式在制造架构间进行传送。机器化运作可在机器臂装置、机器臂装置与处理设备和处理设备之间进行。
申请公布号 TW200903828 申请公布日期 2009.01.16
申请号 TW097117267 申请日期 2008.05.09
申请人 应用材料股份有限公司 发明人 贝许雷许罗伯特Z;汤普曼艾薇;波亚克亚历山大S
分类号 H01L31/18(2006.01) 主分类号 H01L31/18(2006.01)
代理机构 代理人 蔡坤财;李世章
主权项
地址 美国