可挠式热电元件及其制造方法

摘要

一种可挠式热电元件及其制造方法，以LIGA制程、微机电制程或电铸技术制作可挠曲基板，并将此可挠曲基板用以制做热电元件。利用此基板的结构与材料特性，使热电元件具有可挠且可拉伸的功能。于这些可挠基板上制作热传增强结构，如散热通道或金属扩散层，而可克服可挠基板的低热传导特性。