接触元件及接触元件之制造方法

摘要

接触元件50包括：矽层56b，构成梁部53的一部份，梁部53的后端侧设于基部51而前端侧从基部51突出；SiO#sB!2#eB!层56a，形成于矽层56b上而做为绝缘层；以及形成于SiO#sB!2#eB!层56a上的导电层54。