发明名称 |
感光性树脂组成物、使用该组成物的图案硬化膜的制造方法以及电子零件 |
摘要 |
本发明提供一种硬化后的膜的物性不逊于高温下硬化之膜的感光性树脂组成物、使用该树脂组成物的图案硬化膜的制造方法以及电子零件。上述感光性树脂组成物含有:(a)具有通式(I)所示之重复单元的聚苯并恶唑前驱体、(b)感光剂、(c)溶剂以及(d)藉由加热能够进行交联或聚合的交联剂。#P 097108491P01.bmp式中,U或V表示二价有机基团;U或V中的至少一个为包括碳原子数为1~30的脂肪族链状结构的基团。 |
申请公布号 |
TW200903148 |
申请公布日期 |
2009.01.16 |
申请号 |
TW097108491 |
申请日期 |
2008.03.11 |
申请人 |
日立化成杜邦微系统股份有限公司 |
发明人 |
岸知典;野北里花;岩下健一 |
分类号 |
G03F7/004(2006.01);C08G73/22(2006.01);H01L21/027(2006.01) |
主分类号 |
G03F7/004(2006.01) |
代理机构 |
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代理人 |
詹铭文;萧锡清 |
主权项 |
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地址 |
日本 |