| 摘要 |
Un Microcapteur de pression et son procédé de fabrication.Le microcapteur comporte un transistor MOS FET à grille mobile (2) , une cavité (6) entre la grille mobile (2) disposés sur un substrat (1), des moyens pour mesurer la position de ladite grille et des moyens pour déplacer la dite grille mobile sous l'effet d'une pression.L'invention décrit plus spécifiquement un système de reconnaissance d'empreinte digitale. |
