发明名称 GEKÜHLTE VORRICHTUNG ZUR PLASMA-ABLAGERUNG EINER SPERRSCHICHT AUF EINEM BEHÄLTER
摘要
申请公布号 AT420222(T) 申请公布日期 2009.01.15
申请号 AT20060830990T 申请日期 2006.10.23
申请人 SIDEL PARTICIPATIONS 发明人 RIUS, JEAN-MICHEL
分类号 C23C16/513;B05D7/22;B65D23/02;C23C4/00;C23C16/04 主分类号 C23C16/513
代理机构 代理人
主权项
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