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发明名称 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR ABSCHEIDUNG EINER MIKROKRISTALLINEN SILICIUMSCHICHT AUF EINEM SUBSTRAT
摘要
申请公布号 AT420221(T) 申请公布日期 2009.01.15
申请号 AT20020722981T 申请日期 2002.04.12
申请人 TECHNISCHE UNIVERSITEIT EINDHOVEN 发明人 HAMERS, EDWARD;SMETS, ARNO;VAN DE SANDEN, MAURITIUS;SCHRAM, DANIEL
分类号 C23C16/513;C23C16/24;C30B25/10 主分类号 C23C16/513
代理机构 代理人
主权项
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