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发明名称 Improved ion magnetron plasma device
摘要
申请公布号 GB963493(A) 申请公布日期 1964.07.08
申请号 GB19610020191 申请日期 1961.06.05
申请人 UNITED STATES ATOMIC ENERGY COMMISSION 发明人
分类号 H01J25/52;H01J27/02;H05H1/16 主分类号 H01J25/52
代理机构 代理人
主权项
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