| 发明名称 |
VERFAHREN ZUR KONTROLLE VON PARTIKELN UND PLASMABEHANDLUNGSKAMMER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69739145(D1) |
申请公布日期 |
2009.01.15 |
| 申请号 |
DE19976039145 |
申请日期 |
1997.09.17 |
| 申请人 |
LAM RESEARCH CORP. |
发明人 |
WICKER, THOMAS E.;MARASCHIN, ROBERT A. |
| 分类号 |
H01J37/32;H05H1/46;C23C16/505;H01L21/302;H01L21/31 |
主分类号 |
H01J37/32 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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