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发明名称 Hochvakuumverpacktes Mikrogyroskop und Verfahren zu seiner Herstellung
摘要
申请公布号 DE60040959(D1) 申请公布日期 2009.01.15
申请号 DE20006040959 申请日期 2000.10.25
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO. LTD. 发明人 KANG, SEOK-JIN;KO, YOUN-IL;KIM, HO-SUK
分类号 G01P9/04;G01P15/08;B81B3/00;B81B7/00;B81B7/02;B81C3/00;G01C19/56;G01P1/02;H01L29/84 主分类号 G01P9/04
代理机构 代理人
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