| 摘要 |
Zusammenfassend betrifft die vorliegende Erfindung ein Verfahren zum Prüfen eines Prüfobjekts (22) mit den Schritten: - Anordnen des Prüfobjekts (22) an einem verformbaren Kontaktelement (12) einer Halteeinrichtung (10), wobei das Kontaktelement (12) zumindest teilweise verformt wird, so dass zumindest eine Teilfläche (24) des Prüfobjekts (22) mit zumindest einer Teilfläche (42) des Kontaktelements (12) spaltfrei in Kontakt ist und wobei für zumindest zwei Kontaktpunkte (30-40) des Kontaktelements, die mit der Teilfläche (24) des Prüfobjekts (22) in Kontakt sind, bei einem Durchstrahlen mittels elektromagnetischer Strahlung, welche parallel zu einer vordefinierten Durchstrahlrichtung (44) ist, eine optische Weglänge (54, 56) der elektromagnetischen Strahlung durch die Halteeinrichtung (10) und das Prüfobjekt (22) im Wesentlichen identisch ist; - Durchstrahlen der elektromagnetischen Strahlung parallel zu der vordefinierten Durchstrahlrichtung (44) durch die Halteeinrichtung (10) und das Prüfobjekt (22); - Detektieren der elektromagnetischen Strahlung nach Durchstrahlen; und - Auswerten der detektierten elektromagnetischen Strahlung, sowie eine Vorrichtung zum Prüfen eines Prüfobjekts.
|
