采用导轨的光刻机硅片台双台交换装置

摘要

采用导轨的光刻机硅片台双台交换装置，该装置主要应用于半导体光刻机中。本实用新型含有运行于预处理工位的硅片台、运行于曝光工位的硅片台和两个导轨驱动单元，每个导轨驱动单元包含X向直线电机、Y向直线电机和用以推动硅片台运动的推杆；导轨驱动单元与硅片台之间通过真空轴承吸住，带动硅片台作大范围X、Y方向运动。本实用新型采用两个双自由度驱动单元，使装置结构大大得以简化，有效降低了同步控制的要求。

主权项

1.一种采用十字导轨的光刻机硅片台双台交换装置，该装置含有运行于预处理工位的硅片台(1)和运行于曝光工位的硅片台(1)，所述的两个硅片台设置在一基台(11)上，并通过气浮轴承悬浮在基台表面，其特征在于：该装置采用两个十字导轨驱动单元(4)，分别设置在基台(11)相对两边的边缘上，每个十字导轨驱动单元(4)包含X向直线电机(5)、Y向直线电机(7)和推杆(8)，X向直线电机(5)的定子安装在基台边缘的凹槽中，动子安装在十字导轨驱动单元的下底部；Y向直线电机(7)与X向直线电机(5)叠层布置，并与X向直线电机(5)正交；所述的十字导轨驱动单元与硅片台之间通过真空轴承吸住，真空轴承布置在推杆与硅片台的侧面。