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发明名称
摘要
申请公布号	JP4206403(B2)	申请公布日期	2009.01.14
申请号	JP20050212483	申请日期	2005.07.22
申请人		发明人
分类号	H01L21/285;C22C9/00;C23C14/34;H01L21/3205;H01L23/52	主分类号	H01L21/285
代理机构		代理人
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